一种微电子行业用自动涂胶装置

摘要

一种微电子行业用自动涂胶装置，具有注胶机和匀胶机，注胶机包括：点胶针筒、驱动机构、进胶管以及储胶室，驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定，点胶针筒的下部通过进胶管与储胶室相连，进胶管内设置有第一单向阀，点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀；匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm。本装置可实现自动注胶、自动补胶、自动匀胶，且能防止胶水进入吸盘的吸气管。其自动化程度高，大大降低劳动强度，且每次注胶的量都一致，减少浪费，降低生产成本，减少对环境的污染。

主权项

一种微电子行业用自动涂胶装置，具有机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机，其特征在于：所述注胶机包括：点胶针筒、驱动电机、进胶管以及储胶室，所述驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定，所述点胶针筒的下部连接进胶管的第一端，进胶管的第二端与储胶室相连，所述进胶管内设置有第一单向阀，所述点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀；所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3‑5mm。