双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产设备

摘要

本实用新型提供了一种工作效率高、设计合理的双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产设备，包括机架，所述机架上依次设置有进口真空腔体、进口缓冲真空腔体、进口过渡腔体、工艺真空腔体、出口真空腔体、出口缓冲真空腔体和出口过渡腔体；所述机架上、贯穿上述腔体设置有触摸屏基片输送带；所述工艺真空腔体为9个，所述每个工艺真空腔体都布置有2对阴极，所述9个工艺真空腔体可布置18对阳极，所述18对阳极中，含有18对Nb2Ox阳极；或1到8对SiOx阳极；或1到6对Ito阳极；所述进口真空腔体内配备有1到2组低真空抽气系统；所述进口缓冲真空腔体和出口缓冲真空腔体内配备1到2组高真空抽气系统；所述工艺真空腔体内配备2到3组维持高真空抽气系统。本生产设备结构合理，功能先进，工作效率高，有利于推广使用。

主权项

双面消影氧化铟锡磁控溅射镀膜生产设备，其特征在于，包括机架，所述机架上依次设置有进口真空腔体、进口缓冲真空腔体、进口过渡腔体、工艺真空腔体、出口真空腔体、出口缓冲真空腔体和出口过渡腔体；所述机架上、贯穿上述腔体设置有触摸屏基片输送带；所述工艺真空腔体为9个，所述每个工艺真空腔体都布置有2对阴极，所述9个工艺真空腔体可布置18对阳极，所述18对阳极中，含有18对Nb2Ox阳极；或1到8对SiOx阳极；或1到6对Ito阳极；所述进口真空腔体内配备有1到2组低真空抽气系统；所述进口缓冲真空腔体和出口缓冲真空腔体内配备1到2组高真空抽气系统；所述工艺真空腔体内配备2到3组维持高真空抽气系统。