| 发明名称 | 投影物镜波像差在线检测装置和检测方法 | ||
| 摘要 | 一种投影物镜波像差在线检测装置和方法，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫散射光学元件组成，与多模光纤阵列共同用于将相干光或部分相干光的光源转化为非相干光。通过采集相移量分别为0、<img file="DDA0000559584120000011.GIF" wi="495" he="120" />π、<img file="DDA0000559584120000012.GIF" wi="95" he="113" /><img file="DDA0000559584120000013.GIF" wi="216" he="112" />的10幅干涉条纹图计算相位，消除光栅多级衍射光干涉对相位提取精度的影响。本发明改善了物面光栅对光场空间相干性的调制效果，实现了高精度的对准效果，降低了波像差检测中相位提取的系统误差，从而提高光学系统的波像差检测精度。 | ||
| 申请公布号 | CN104166316A | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201410421815.7 | 申请日期 | 2014.08.26 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯;张宁展 |
| 主权项 | 一种投影物镜波像差在线检测装置，其特征在于，包括：沿光源(1)输出光束方向依次放置的旋转散射器(2)、第一聚焦透镜(3)、光纤阵列(4)、第二聚焦透镜(5)、散射光学元件(6)、物面光栅板(7)、像面光栅板(10)、二维光电传感器(13)；所述的物面光栅板(7)置于物面光栅位移台(8)上，所述的像面光栅板(10)置于像面光栅位移台(11)上，该像面光栅位移台(11)与相移控制模块(12)相连，所述的二维光电传感器(13)与计算机相连(14)；所述的物面光栅板(7)位于被测光学系统(9)的物平面，所述的像面光栅板(10)位于被测光学系统(9)的像平面；所述的物面光栅板(7)由两个周期为P<sub>o</sub>且占空比为50％的物面光栅，以及物面光栅对准标记(703)组成，该两个物面光栅分别是光栅线沿y方向的第一光栅(701)和光栅线沿x方向的第二光栅(702)；所述的像面光栅板由像面光栅和像面光栅对准标记组成；所述的物面光栅的周期P<sub>o</sub>与所述的像面光栅的周期P<sub>i</sub>满足如下关系，P<sub>o</sub>＝P<sub>i</sub>·M其中，M为被测光学系统(9)的成像放大倍数。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱 | ||