一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器及其加工方法

摘要

本发明涉及气体检测领域，公开了一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器及其加工方法，包括单晶硅衬底；绝热沟槽，形成于所述单晶硅衬底的上表面且具有一定深度，绝热沟槽包括一组或多组沟槽，其中每组沟槽包括多个平行排列的沟槽；下绝缘层，覆盖绝热沟槽及所述单晶硅衬底的上表面；以及设置于下绝缘层上方的加热层和上绝缘层。本发明的绝热沟槽可以稳定地支撑下绝缘层薄膜及其上的加热板和上绝缘层，避免器件在高温工作时下绝缘层变形翘曲导致的加热层脱落。同时，所述绝热沟槽的沟槽表面覆有二氧化硅薄膜，可以起到更好的保温隔热效果，降低功耗，提高气体传感器的探测灵敏度和使用寿命。

主权项

一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器，其特征在于，包括：单晶硅衬底(1)；绝热沟槽(2)，形成于所述单晶硅衬底(1)的上表面且具有一定深度，所述绝热沟槽(2)包括一组或多组沟槽，其中每组沟槽包括多个平行排列的沟槽；下绝缘层(3)，覆盖所述单晶硅衬底(1)的上表面；加热层(4)，设置于所述下绝缘层(3)的上表面，且所述加热层(4)位于所述绝热沟槽(2)的正上方区域内；上绝缘层(5)，覆盖所述加热层(4)的上表面；气体敏感层(9)，设置于所述上绝缘层(5)的上表面，且所述气体敏感层(9)位于所述加热层(4)的正上方区域内。