发明名称 |
一种超高纯POCL<sub>3</sub>的制备方法 |
摘要 |
一种超高纯POCL<sub>3</sub>的制备方法,黄磷与工业氯气在第一反应釜中加热制成PCL<sub>3</sub>并翻倒入第二反应釜;PCL<sub>3</sub>经第二反应釜加热蒸馏;取75.5℃~78℃馏份PCL<sub>3</sub>成品;将经过初次加热蒸馏过的PCL<sub>3</sub>成品经氯化水解法制成POCL<sub>3</sub>一次品;加热蒸馏温度设置为100℃~105℃,取104℃~109℃馏份得POCL<sub>3</sub>二次品;将POCL<sub>3</sub>二次品经精馏得到超高纯POCL<sub>3</sub>。对原材料的要求不高,所用黄磷为普通黄磷,所用氯气为工业氯气,降低工业生产成本,在常温常压下生产制备的超高纯POCL<sub>3</sub>能满足集成电路(IC)和多晶硅太阳能电池以及光纤等产品生产加工要求。 |
申请公布号 |
CN104163406A |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201310180545.0 |
申请日期 |
2013.05.16 |
申请人 |
江阴江化微电子材料股份有限公司 |
发明人 |
殷福华;朱龙;邵勇 |
分类号 |
C01B25/10(2006.01)I |
主分类号 |
C01B25/10(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种超高纯POCL<sub>3</sub>的制备方法,其特征在于:制备步骤如下:(1)黄磷与工业氯气在第一反应釜中加热制成PCL<sub>3</sub>并翻倒入第二反应釜;(2)将步骤(1)所得PCL<sub>3</sub>经第二反应釜加热蒸馏;取75.5℃~78℃馏份PCL<sub>3</sub>成品;(3)将步骤(2)所得的PCL3成品经氯化水解法制成POCL3一次品;(4)对步骤(3)所得的POCL<sub>3</sub>一次品进行加热蒸馏温度设置为100℃~105℃,取104℃~109℃馏份得POCL<sub>3</sub>二次品;(5)将步骤(3)所得的POCL<sub>3</sub>二次品经精馏得到超高纯POCL<sub>3</sub>。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号 |