发明名称 |
Piezoresistively dosed DLC sensor layers |
摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Sensorschicht mit dotiertem Diamant-ähnlichem Kohlenstoff (DLC), sowie einen Kraftsensor, der eine entsprechende Sensorschicht umfasst. Eine erfindungsgemäße Schicht zeigt auch bei Temperaturen von über 125 °C ein stabiles Sensorverhalten.</p> |
申请公布号 |
EP2682731(A3) |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
EP20130174025 |
申请日期 |
2013.06.27 |
申请人 |
DEUTSCHES ZENTRUM FÜR LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. |
发明人 |
SARUHAN-BRINGS, BILGE;DOGDUASLAN, MUENEVVER, N.;MONDRÁGON RODRIGUEZ, GUILLERMO CESÁR;BRIEN, JÖRG |
分类号 |
G01M13/02;F16C41/00;G01L1/22;G01L5/00;G01M13/04 |
主分类号 |
G01M13/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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