铜膜形成用组合物及使用该组合物的铜膜的制造方法

摘要

本发明提供一种可在较低温度的加热下得到具有充分的导电性的铜膜的溶液状铜膜形成用组合物，所述铜膜形成用组合物包括：含有甲酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、乙酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、选自式(1)或(1')的二醇化合物组中1种以上的二醇化合物、式(2)的哌啶化合物及有机溶剂，且在将甲酸铜或其水合物的含量设为1摩尔/kg的情况下，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有二醇化合物，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有哌啶化合物。

主权项

一种铜膜形成用组合物，其中，作为必需成分包括：0.01～3.0摩尔/kg的甲酸铜或其水合物、0.01～3.0摩尔/kg的乙酸铜或其水合物、选自下述通式(1)所示的二醇化合物及下述通式(1’)所示的二醇化合物中的至少1种二醇化合物、下述通式(2)所示的哌啶化合物以及使这些成分溶解的有机溶剂，且在将上述甲酸铜或其水合物的含量设为1摩尔/kg的情况下，以0.1～6.0摩尔/kg的范围含有上述二醇化合物，以0.1～6.0摩尔/kg的范围含有上述哌啶化合物，通式(1)中，X表示氢原子、甲基、乙基、或3‑氨基丙基中的任一种，通式(1’)中，R¹及R²分别独立地表示氢原子或碳原子数1～4的烷基，根据情况也可以互相键合并与相邻的氮原子一起形成5元环或6元环，通式(2)中，R表示甲基或者乙基，m表示0或1。