发明名称 真空吸着ステージ
摘要
申请公布号 JP5630059(B2) 申请公布日期 2014.11.26
申请号 JP20100085126 申请日期 2010.04.01
申请人 发明人
分类号 B41F15/20;B41F15/08;B41F15/26 主分类号 B41F15/20
代理机构 代理人
主权项
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