真空蒸发镀膜均匀性调整装置

摘要

本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜均匀性调整装置，真空蒸发镀膜机包括真空抽气系统、点蒸发源蒸发系统、弧形工件架和膜层厚度测试系统，膜层厚度测试系统的测试点安装在弧形工件架的旋转轴上，所述均匀性调整装置安装在真空蒸发镀膜机的点蒸发源和弧形工件架之间，所述均匀性调整装置靠近弧形工件架安装，所述均匀性调整装置包括安装座、支撑板和修正滑块，所述安装座与所述支撑板之间呈一定夹角设置，多个所述修正滑块并行排列安装在所述支撑板的两边，多个所述修正滑块宽度一致和长度不同。本实用新型提供了一种真空蒸发镀膜均匀性调整装置，为多次重复使用的均匀性调整装置，可以对膜层均匀性进行多次的调整，并将每次调整的形状进行保留。

主权项

真空蒸发镀膜均匀性调整装置，真空蒸发镀膜机包括真空抽气系统、点蒸发源蒸发系统、弧形工件架和膜层厚度测试系统，膜层厚度测试系统的测试点安装在弧形工件架的旋转轴上，其特征在于：所述均匀性调整装置安装在真空蒸发镀膜机的点蒸发源和弧形工件架之间，所述均匀性调整装置靠近弧形工件架安装，所述均匀性调整装置包括安装座、支撑板和修正滑块，所述安装座与所述支撑板之间呈一定夹角设置，多个所述修正滑块并行排列安装在所述支撑板的两边，多个所述修正滑块宽度一致和长度不同。