一种带花键轴的多面抛光装置

摘要

本实用新型涉及一种带花键轴的多面抛光装置，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工，包括圆形滚筒、花键轴、螺纹轴、移动块、电机，所述圆形滚筒套在花键轴上，所述圆形滚筒位置固定不变；螺纹轴固定不动，并且花键轴套在螺纹轴上，移动块上设有与螺纹轴的螺纹配合的内螺纹，花键轴转动时会带动移动块相对于螺纹轴水平移动，相对于圆形滚筒圆周运动。本实用新型结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过圆形滚筒研磨盘的磨料粒度梯度化设计，可以对工件分别进行从粗磨到精抛的不同程度的加工。

主权项

一种带花键轴的多面抛光装置，其特征在于：包括圆形滚筒、花键轴、螺纹轴、移动块、电机和工件安装台，所述圆形滚筒套在花键轴上，所述圆形滚筒的内壁涂有不同粒度的磨料，所述圆形滚筒内壁的磨料粒度在沿着圆形滚筒中心轴的方向依次递增；所述圆形滚筒位置固定不变； 所述花键轴内设有圆形通孔，所述圆形通孔内装有螺纹轴，所述花键轴上还设有工字槽，工字槽与圆形通孔连通，所述移动块与工字槽安装配合；所述移动块底部设有螺纹，所述移动块上的螺纹与螺纹轴上的螺纹相配合；所述移动块与螺纹轴通过螺纹连接；所述花键轴的一端连接电机，所述螺纹轴穿出花键轴的另一端并且固定在固定座上，花键轴在电机的带动下转动，螺纹轴与固定座固接不会转动，但是与螺纹轴配合的安装在花键轴工字槽上的移动块会随着螺纹轴的转动横向移动； 所述工件安装台装在移动块内，所述工件安装台包括安装座、气囊、电机和工件安装头，所述安装座上设有凹槽，所述气囊装在安装座上的凹槽内，所述电机装在凹槽内并且电机底部与气囊连接，所述工件安装头连接电机；所述安装座的凹槽底部设有气囊的充气孔。