一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，至少包括：主支架体及位于其上的起重装置、起重装置上的动臂机构；起重装置包括相对转动的第一、第二底板；固定于第二底板上方的第三底板；位于第三底板下表面且通过贯穿第三底板上的丝杠固定的第一齿轮；穿过第二、第三底板间固定板中的轴承的手柄轴；手柄轴套设有与第一齿轮啮合的第二齿轮；动臂机构包括两根滑轨和分别沿滑轨滑动的动臂；动臂间通过一连接板固定；两滑轨间的起重板；丝杠穿套于起重板中的丝杠帽；该起重板与第三底板相对固定。使用本实用新型的加热盘安装和拆卸装置可大大提高作业的安全性和劳动效率，同时降低因人工搬运导致加热盘损坏的风险，达到省时省力的效果。

主权项

一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于，所述装置至少包括：主支架体、位于所述主支架体上的起重装置以及设置于所述起重装置上用于承载加热盘的动臂机构；所述起重装置包括第一底板和通过一旋转轴连接并相对所述第一底板上表面转动的第二底板；通过支柱支撑并固定于所述第二底板上方的第三底板；位于所述第三底板下表面的第一齿轮；所述第一齿轮通过贯穿所述第三底板上的丝杠固定；连接于所述第二、第三底板之间且嵌有轴承的固定板；穿过所述轴承且设有手柄的手柄轴；所述手柄轴套设有与所述第一齿轮啮合的第二齿轮；所述动臂机构包括两根平行的滑轨和分别沿所述滑轨滑动的动臂；所述动臂通过一连接板相互固定；固定于所述两个滑轨之间的起重板；所述起重板设有与所述丝杠匹配的丝杠帽；所述丝杠穿套于所述丝杠帽；所述起重板与所述第三底板通过导向轴固定。