发明名称 |
综合利用MOCVD设备尾气的装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种综合利用MOCVD设备尾气的装置,MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐,低压缓冲罐通过压缩机连接于高压缓冲罐,高压缓冲罐管道连接于预冷交换器上,预冷交换器下端管道连接有低温冷凝器,低温冷凝器下方管道连接有气液分离器,气液分离器的下端通过液氨泵与液氨储槽连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱上,分子筛吸附柱上端连接在变压吸附柱上,变压吸附柱管道连接于氢气储罐。本实用新型结构简单,能够对MOCVD尾气进行有效分离,液氨和氢气被回收,可直接应用到其他行业,氮气可以直接排放,综合利用率高,且没有安全和环保的问题。 |
申请公布号 |
CN203954987U |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201420277522.1 |
申请日期 |
2014.05.28 |
申请人 |
安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
发明人 |
武利曙;俞冬雷;徐昕 |
分类号 |
B01D53/00(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;C01C1/12(2006.01)I;C01B3/56(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I |
主分类号 |
B01D53/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京正联知识产权代理有限公司 32243 |
代理人 |
沈志海 |
主权项 |
一种可以综合利用MOCVD设备尾气的装置,其特征在于:MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐(1),低压缓冲罐(1)通过压缩机(2)连接于高压缓冲罐(3),高压缓冲罐(3)管道连接于预冷交换器(4)上,预冷交换器(4)下端管道连接有低温冷凝器(5),低温冷凝器(5)下方管道连接有气液分离器(6),气液分离器(6)的下端通过液氨泵(7)与液氨储槽(8)连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱(9)上,分子筛吸附柱(9)上端连接在变压吸附柱(10)上,变压吸附柱(10)管道连接于氢气储罐(11)。 |
地址 |
241009 安徽省芜湖市经济技术开发区管委会三楼 |