发明名称 |
一种掩模版存储盒纯化器拆装装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种掩模版存储盒纯化器拆装装置,包括:旋盖装置。旋盖装置上有若干条防滑齿。旋盖装置的形状为圆形。旋盖装置上设有锯齿,锯齿间形成的凹槽与掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配。根据掩模版存储盒纯化器的固定盖板的结构,采用本实用新型方便了工作人员,减轻了劳动强度,提高了工作效率和安全度。在旋盖装置上设有若干条防滑齿,工作人员在操作时可以充分的用力,有效地防止了安装不到位的问题。采用圆形旋盖装置,并在旋盖装置上设有锯齿,且所述锯齿间形成的凹槽与所述掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配,轻松拆卸和安装固定盖板,避免了内部掩模版损坏的风险及人体受伤害的风险、降低了公司的生产成本。 |
申请公布号 |
CN203956858U |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201420234664.X |
申请日期 |
2014.05.08 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
许青峰 |
分类号 |
B25B27/14(2006.01)I |
主分类号 |
B25B27/14(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
王宏婧 |
主权项 |
一种掩模版存储盒纯化器拆装装置,其特征在于,包括:旋盖装置,所述旋盖装置上有若干条防滑齿;所述旋盖装置上设有锯齿,所述锯齿间形成的凹槽与所述掩模版存储盒纯化器的固定盖板受力点相匹配。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 |