| 发明名称 | 紫外探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种紫外探测器，所述紫外探测器包括衬底，所述衬底上依次设有n型层、i型超晶格倍增层、i型光敏吸收层和p型层；所述n型层上设有n型欧姆电极，所述p型层上设有p型欧姆电极；所述i型超晶格倍增层为Ⅲ族氮化物的超晶格。本发明解决了现有技术中紫外探测器中由于电子和空穴的离化系数相近而导致的紫外探测器不灵敏，难以探测弱紫外光的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104167458A | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201410360909.8 | 申请日期 | 2014.07.25 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 汪莱;郑纪元;郝智彪;罗毅 |
| 分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/101(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种紫外探测器，其特征在于，所述紫外探测器包括：衬底，所述衬底上依次设有n型层、i型超晶格倍增层、i型光敏吸收层和p型层；所述n型层上设有n型欧姆电极，所述p型层上设有p型欧姆电极；所述i型超晶格倍增层为Ⅲ族氮化物的超晶格。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 | ||