一种硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉的制备方法

摘要

本发明公开一种硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉的制备方法，步骤为：对硅基衬底进行预处理以作为单晶微粉生长的衬底材料；应用热丝化学气相沉积法对硅基衬底进行沉积以获得均匀分散的硼掺杂金刚石单晶颗粒，反应气体为氢气与丙酮，在氢气与丙酮反应体系中加入含硼化合物，反应气压为2～4.5kPa、硅基衬底温度700～950℃；依次采用基体去除工艺、混合酸溶液去除工艺、及颗粒蒸馏工艺处理硼掺杂金刚石单晶颗粒，以获得硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉。本发明的超/精细金刚石微粉中具有六-八面体或二十面体聚形晶体形态的比例较高，不但可显著提高超/精细金刚石单晶颗粒的生长速率，还可改善颗粒的晶形及表明质量。

主权项

一种硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉的制备方法，其特征在于，步骤为：(a)：对硅基衬底进行预处理以作为单晶微粉生长的衬底材料；(b)：应用热丝化学气相沉积法对经过所述步骤(a)预处理后的所述硅基衬底进行沉积以获得均匀分散的硼掺杂金刚石单晶颗粒，其中，反应气体为氢气与丙酮，在所述氢气与丙酮反应体系中加入硼化合物，反应气压为2～4.5kPa、所述硅基衬底温度700～950℃；(c)：依次采用基体去除工艺、混合酸溶液去除工艺、及颗粒蒸馏工艺处理所述步骤(b)中获得的所述硼掺杂金刚石单晶颗粒，以获得硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉。