一种激光退火装置

摘要

本实用新型涉及一种激光退火装置，包括：用于发射激光束的激光发射器；用于接收所述激光发射器发出的所述激光束的光束调整组件，所述光束调整组件调整所述激光束照射范围的大小；用于接收经所述光束调整组件射出的所述激光束并调整所述激光束的能量分布的分光组件；设于经所述分光组件调整后的所述激光束射出处、用于对所述分光组件射出的激光束进行滤光处理的滤光装置；以及用于将经所述滤光装置滤光处理过的所述激光束进行反射的反射镜。实现依基板定义的尺寸调整光束大小，有效使用激光能量，减少激光能量浪费。

主权项

一种激光退火装置，其特征在于，包括：用于发射激光束的激光发射器；用于接收所述激光发射器发出的所述激光束的光束调整组件，所述光束调整组件调整所述激光束照射范围的大小；用于接收经所述光束调整组件射出的所述激光束并调整所述激光束的能量分布的分光组件，所述分光组件包括多个分光镜，所述激光束照射于多个所述分光镜后形成有透射支路和反射支路，所述透射支路和所述反射支路在分光组件内重合，使得所述激光束能量均匀；设于经所述分光组件调整后的所述激光束射出处、用于对所述分光组件射出的激光束进行滤光处理的滤光装置；以及用于将经所述滤光装置滤光处理过的所述激光束进行反射的反射镜。