发明名称 |
一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统 |
摘要 |
一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统,包括:聚光镜组,位于照明系统的照明光路上,负责将光会聚到指定位置;匀光棒,位于系统所述聚光镜组的光路上,聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射;控制装置,用来固定多根不同口径比的匀光棒,装置有平行于照明系统光轴的旋转轴,装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置,使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子;所述控制装置由高精度旋转台驱动;中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上;照明场,位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子,或者简化变焦透镜的设计复杂度,达到简化结构降低成本的目的。 |
申请公布号 |
CN102955371B |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201210264944.0 |
申请日期 |
2012.07.27 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
卢亮;张海波;廖志杰;林妩媚;邢廷文;甘大春;何毅 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 |
代理人 |
成金玉;李新华 |
主权项 |
一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统,其特征在于包括:聚光镜组,位于深紫外光刻照明系统的照明光路上,将经扩束整形得到的平行光会聚到匀光棒入射端口附近;匀光棒,位于所述聚光镜组后的光路上,聚光镜组出射的光经由匀光棒的入射端入射,并由其出射端出射;所述匀光棒有多根,所有匀光棒的出射端口径相同,入射端口径不同;控制装置,被固定在深紫外光刻照明系统的机械外壳上,用来固定所述多根匀光棒,控制装置有平行于照明系统光轴的旋转轴,控制装置绕此轴旋转即可调整每根匀光棒的位置,使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子;中继透镜,位于所述控制装置的出光光路上;照明场,位于所述中继透镜后的系统光路上。 |
地址 |
610209 四川省成都市双流350信箱 |