发明名称 |
一种MEMS扫描探头 |
摘要 |
本发明涉及一种MEMS扫描探头,包括基座(1)、光纤(2)、透镜(3)、柔性双金属结构(8)、微镜底座(7)、以及设置在微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4),各个部件按照本发明的设计要求相互进行连接,其中,微镜底座(7)下表面上与基座(1)最接近的边和基座(1)的端部对设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)的自倾斜状态进行了限位;本发明设计的MEMS扫描探头在实现MEMS微镜在自倾斜状态的基础上,能够方便、准确的控制MEMS微镜的自倾斜角度。 |
申请公布号 |
CN103033929B |
申请公布日期 |
2014.11.26 |
申请号 |
CN201210519608.6 |
申请日期 |
2012.12.06 |
申请人 |
无锡微奥科技有限公司 |
发明人 |
陈巧;谢会开;周亮;丁金玲 |
分类号 |
G02B26/08(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/08(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
许方 |
主权项 |
一种MEMS扫描探头,包括基座(1)、光纤(2)、透镜(3)、微镜底座(7)、以及设置在微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4),其中,基座(1)的下表面沿其轴向方向设置有两端开口的光学定位槽(6);光纤(2)设置在光学定位槽(6)内;通过设置在光学定位槽(6)内的透镜定位槽(9),将透镜(3)设置在光纤(2)的一端;其特征在于:还包括柔性双金属结构(8),微镜底座(7)的一边通过柔性双金属结构(8)与基座(1)上靠近透镜(3)的端部相连接,其中,柔性双金属结构(8)的两端分别连接基座(1)端部的上表面和微镜底座(7)的上表面;柔性双金属结构(8)使得设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)处于自倾斜状态,与光学定位槽(6)实现光学对准,且微镜底座(7)下表面上与基座(1)最接近的边和基座(1)的端部对设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)的自倾斜状态进行了限位。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室 |