用于生产石英玻璃圆柱体的方法以及用于实施该方法的支撑物

摘要

在一种已知用于生产石英玻璃圆柱体的方法中，通过在一个支撑物的一个圆柱形罩面上沉积SiO₂颗粒来生产一个多孔的灰料管，该支撑物围绕该圆柱形罩面的纵轴旋转并且具有一个由碳化硅制造的层（SiC层），该灰料管被烧结成该石英玻璃圆柱体。为了由此出发而提出一种具有高断裂强度的支撑物，其中该支撑物一方面能够容易地移出而另一方面对灰料体造成了较小的污染危险，根据本发明提出：在沉积SiO₂颗粒之前，将SiC层在高温下含氧的气氛中进行如下的处理，即通过氧化来形成一个具有至少0.1µm厚度的SiO₂保护层。

主权项

用于生产石英玻璃圆柱体的方法，其中通过在支撑物（1）的圆柱形罩面上沉积SiO₂颗粒来生产多孔的灰料管（3）并且将该灰料管（3）烧结成该石英玻璃圆柱体，其中该支撑物围绕其纵轴旋转并且具有一个由碳化硅制成的层（8）（SiC层），其特征在于，在沉积SiO₂颗粒之前将该SiC层（8）在高温下在含氧气氛中进行处理，处理方式为通过氧化来制造一个具有至少0.1 µm厚度的SiO₂保护层（7）。