氧化硅玻璃坩埚制造方法及氧化硅玻璃坩埚制造装置

摘要

在制造氧化硅玻璃坩埚时能够准确测量制造中的温度。本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚制造装置，该装置通过向坩埚形成用模具内供给氧化硅粉末来形成氧化硅粉层，通过电弧放电加热熔化该氧化硅粉层来制造氧化硅玻璃坩埚，该装置具备：供给氧化硅粉末来形成氧化硅粉层的模具；具备多根碳电极及电力供给部的电弧放电部；以及至少测量上述模具内熔化部分温度的温度测量部，上述温度测量部是通过检测波长4.8～5.2μm的辐射能来测量温度的辐射温度计。

主权项

一种氧化硅玻璃坩埚制造装置，其特征在于包括：供给氧化硅粉来形成氧化硅粉层的坩埚成形用模具；具备多个碳电极及电力供给部，且通过电弧放电对上述氧化硅粉层进行加热熔化的电弧放电部；以及至少对上述模具内熔化部分进行温度测量的温度测量部，其中，上述温度测量部包括通过检测波长4.8～5.2μm的辐射能来测量温度的辐射温度计，上述辐射温度计测量直径为30mm以下，上述温度测量部具备由BaF₂或CaF₂构成的过滤器，在上述温度测量部中，将测量温度范围设定为400～2800℃，上述温度测量部的辐射能检测位置设定为氧化硅玻璃坩埚的角部。