确定波前测量仪表的第一级光学参数和图像共轭的方法

摘要

在包括零件定位装置和具有聚焦台和多个不变的第一级特性参数的波前测量仪表的计量系统中，一种用于确定波前测量仪表的第一级光学参数和用等式描述的图像共轭的方法，该方法包括以下步骤：a)确定“ob_ref”，其是在所述仪表内从物方参考点到第一主面的偏移量；b)确定“ob”，其是从测试表面到所述物方参考点的位移量；c)确定“im_ref”，其是在所述仪表内从聚焦台机械原点Fo到第二主面的位移量；d)确定“im”，其是在所述仪表内聚焦台相对于聚焦台机械原点的位置；e)确定“f”，其是仪表光学系统的焦距。

主权项

在包括零件定位装置和具有聚焦台和多个不变的第一级光学参数的波前测量仪表的计量系统中，一种用于确定波前测量仪表的第一级光学参数和用等式描述的图像共轭的方法，该方法包括以下步骤：a)确定“ob_ref”，其是在所述仪表内从物方参考点到第一主面的偏移量；b)确定“ob”，其是从测试表面到所述物方参考点的位移量；c)确定“im_ref”，其是在所述仪表内从聚焦台机械原点到第二主面的位移量；d)确定“im”，其是在所述仪表内聚焦台相对于聚焦台机械原点的位置；e)确定“f”，其是仪表光学系统的焦距，其中，该方法还包括以下步骤：a')在理想的光学结构中设置所述波前测量仪表；b')在所述计量系统中设置具有已知半径和离其共焦位置已知位移的测试表面的零件；c')调整所述聚焦台的位置，直到所述表面被精确聚焦；d')记录得到的一对共轭位置的结果，其包括所述聚焦台的位置和所述零件相对所述已知物方参考点的位置；e')重复步骤b'至d'，以获得多个不同对的所述共轭位置；和f')通过以下方式对所述对共轭位置进行拟合计算：求出仪表光学系统的所述多个不变的第一级光学参数，至少包括焦距、从物方参考点到第一主面的位移、和从聚焦台机械原点到第二主面的位移。