| 发明名称 | 一种超高纯硫酸制造方法 | ||
| 摘要 | 一种超高纯硫酸制造方法，制作步骤是将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；将经过澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；将精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。本发明提供的一种超高纯硫酸的制备方法，其等级达到PPT等级，生产出含量95-97％、金属杂质控制在1PPb以内，完全满足极大规模集成电路的生产制造。 | ||
| 申请公布号 | CN104163403A | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201310180543.1 | 申请日期 | 2013.05.16 |
| 申请人 | 江阴江化微电子材料股份有限公司 | 发明人 | 殷福华;朱龙;邵勇 |
| 分类号 | C01B17/90(2006.01)I | 主分类号 | C01B17/90(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种超高纯硫酸制造方法，其特征在于，超高纯硫酸的制作步骤如下：(1)将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；(2)将步骤(1)澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；(3)将步骤(2)精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号 | ||