发明名称 芯片全自动拾放视觉定位装置
摘要 本实用新型公开了一种芯片全自动拾放视觉定位装置,解决了现有技术存在的准确度不高、灵活性差的问题。包括工控机和芯片拾放工作台(1)上设置的悬臂支架(2),在悬臂支架(2)上设置有可在X、Y、Z三个方向上进行调整定位的俯视相机,该俯视相机还配备有可更换的两个大小倍数镜头,在芯片拾放工作台(1)上设置有仰视相机和带有对位孔(26)的对位旋转板(25),以对位旋转板(25)的外端设置的对位孔(26)为基准,通过俯视相机的两组镜头的精确切换校验两组镜头的相对位置参数,此参数的校验通过仰视相机完成,可计算出两组镜头间的机械偏移量。实现了芯片初始定位,精度能达到2个像素误差。
申请公布号 CN203967055U 申请公布日期 2014.11.26
申请号 CN201420326013.3 申请日期 2014.06.19
申请人 中国电子科技集团公司第二研究所 发明人 侯一雪;王雁;曹国斌;田志峰;张永聪
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 山西科贝律师事务所 14106 代理人 陈奇
主权项 一种芯片全自动拾放视觉定位装置,包括工控机和芯片拾放工作台(1),在芯片拾放工作台(1)的后端固定设置有悬臂支架(2),在芯片拾放工作台(1)的左侧前端固定设置有仰视相机(3),在仰视相机(3)的后侧设置有对位旋转板支架(4),在芯片拾放工作台(1)上设置有芯片上料台(5),在芯片上料台(5)上活动设置有芯片(6);在悬臂支架(2)上设置有左右方向上的X轴移动导轨(7),在X轴移动导轨(7)上设置有X轴直线电机定子(8)和X轴直线电机动子(9),在X轴直线电机动子(9)上设置有前后方向上的Y轴移动导轨(10),在Y轴移动导轨(10)上设置有Y轴直线电机定子(11)和Y轴直线电机动子(12),在Y轴直线电机动子(12)上设置有Z轴导轨丝杠(13),在Z轴导轨丝杠(13)上设置有Z轴丝杠螺母(14),在Z轴丝杠螺母(14)上设置有俯视相机安装支架(15),其特征在于,沿水平方向设置的镜头切换旋转轴承外圈(17)固定设置在俯视相机安装支架(15)上,在镜头切换旋转轴承内圈(18)上设置有切换镜头安装台(19),在切换镜头安装台(19)上分别设置有大倍数镜头(20)和小倍数镜头(21),大倍数镜头(20)和小倍数镜头(21)是设置在以镜头切换旋转轴承内圈(18)的中心为圆心的同一圆弧上的,在大倍数镜头(20)的正上方的俯视相机安装支架(15)上设置有俯视相机(16),镜头切换旋转轴承内圈(18)上设置有旋转驱动带轮,旋转驱动带轮通过同步驱动皮带(22)与设置在俯视相机安装支架(15)上的步进驱动电机(23)连接在一起,在对位旋转板支架(4)的顶端设置有铰轴(24),在铰轴(24)上铰接有对位旋转板(25),在对位旋转板(25)的外端设置有对位孔(26),对位孔(26)设置在仰视相机(3)的上方,步进驱动电机(23)、仰视相机(3)和俯视相机(16)分别与工控机电连接在一起。
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