用于识别处理模块级失控事件的装置及其方法

摘要

提供了一种用于检测衬底处理期间处理室内现场快速瞬时事件的方法。该方法包括成组的传感器，该成组的传感器将数据集与成组的标准(现场快速瞬时事件)比较从而确定该第一数据集是否包括潜在现场快速瞬时事件。如果该第一数据集包括该潜在现场瞬时事件，则该方法还包括保存出现在该潜在现场快速瞬时事件发生期间内的电信号特征。该方法进一步包括将该电信号特征同一组存储的电弧信号特征比较。如果确定匹配，则该方法还包括将该电信号特征分类为第一现场快速瞬时事件以及依据成组的预定的阈值范围确定该第一现场快速瞬时事件的严重程度级别。

主权项

一种用于检测衬底处理期间等离子体处理系统的处理室内现场快速瞬时事件的方法，所述方法包括：分析由成组的传感器收集的第一数据集，其中所述分析包括将所述第一数据集同成组的标准比较从而确定所述第一数据集是否包括潜在现场快速瞬时事件，其中所述成组的标准定义成组的现场快速瞬时事件；如果所述第一数据集包括所述潜在现场瞬时事件，则保存出现在所述潜在现场快速瞬时事件发生期间内的电信号特征；将所述电信号特征同成组的存储的电弧信号特征比较；如果确定匹配，则将所述电信号特征分类为第一现场快速瞬时事件；以及依据成组的预定的阈值范围确定所述第一现场快速瞬时事件的严重程度级别；其中所述第一数据集的所述分析包括执行快速取样瞬时算法，所述快速取样瞬时算法由计算模块执行，其中所述计算模块被配置为至少耦合于传感器和传感器控制器两者中的一者。