一种多靶位的激光剥蚀样品室

摘要

本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种多靶位激光剥蚀样品室，包括空心壳体、观察窗和透射光入射口，所述空心壳体的前侧面开有矩形的放置口，样品靶架水平通过放置口固定在空心壳体内部并在其上方形成密封的内腔，密封侧板通过螺钉固定在空心壳体的前侧面上，空心壳体的前侧面和密封侧板之间通过O型密封圈密封；所述内腔的左侧面上开有至少三个水平方向依次排列的进气口，内腔的右侧面上开有一个出气口，所述出气口与空心壳体左侧面上中间的进气口同轴，克服现有的样品室放置样品少，经常换样品容易影响样品分析的准确性的问题，并且在气溶胶传输过程中不会产生涡旋气流，提高了分析结果的准确性和精密性。

主权项

一种多靶位的激光剥蚀样品室，包括横置的立方体形状的空心壳体（1），空心壳体（1）的上表面和下表面分别开有观察窗（2）和透射光入射口（3），观察口（2）和透射光入射口（3）上装有透明窗，其特征在于：所述空心壳体（1）的前侧面开有矩形的放置口（4），样品靶架（5）水平通过放置口（4）固定在空心壳体（1）内部并在其上方形成密封的内腔（6），密封侧板（7）通过螺钉固定在空心壳体（1）的前侧面上，空心壳体（1）的前侧面和密封侧板（7）之间通过O型密封圈密封；所述内腔（6）的左侧面上开有至少三个水平方向依次排列的进气口（8），内腔（6）的右侧面上开有一个出气口（9），所述出气口（9）与空心壳体（1）左侧面上中间的进气口（8）同轴。