一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜

摘要

本专利公开了一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜，该增透膜使用了硫化锌(ZnS)和氟化镱(YbF₃)为不同折射率的膜层材料，使用离子源辅助沉积与合适的基底烘烤温度等特定工艺条件，在基底的两个表面分别沉积8层非规整的膜层。该增透膜元件可以使得在1.25～4.0微米(μm)区间具有良好的透光效果，平均透过率＞95％。TeO₂晶体是一种优质的声光晶体，广泛应用于声光调制器，该增透膜可以有效提高声光调制器的光学效率，在宽光谱应用方面呈现出明显优势。

主权项

一种以二氧化碲为基底的中短波红外增透膜，其结构为：在基底的一面沉积正面膜系(1)，在基底的另一面沉积反面膜系(3)，其特征在于：a、所述的正面膜系(1)的膜系结构为：基底/0.314H0.025L1.961H0.078L0.496H0.257L0.258H0.894L/空气其中，H表示一个λ₀/4光学厚度的ZnS膜层，L表示一个λ₀/4光学厚度的YbF₃膜层，λ₀为中心波长，H与L前的数字为膜层的厚度比例系数；b、所述的反面膜系(3)的膜系结构为：基底/0.28H0.022L1.638H0.076L0.396H0.227L0.204H0.743L/空气其中，H表示一个λ₀/4光学厚度的ZnS膜层，L表示一个λ₀/4光学厚度的YbF₃膜层，H与L前的数字为膜层的厚度比例系数。