| 发明名称 | 具有酚取代基的化合物、制备该化合物的方法、以及包含该化合物的抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供具有由下式(1)表示的酚取代基的新化合物、制备该化合物的方法以及包含该化合物的抗蚀剂组合物：[式1]<img file="DSA00000428585400011.tif" wi="966" he="456" />其中R<sub>1</sub>至R<sub>7</sub>以及n<sub>1</sub>如本发明的详细说明书中所定义。所述由式(1)表示的取代基含有酸解离性官能团。所述具有由式(1)表示的酚取代基的化合物与光致产酸剂共同组成抗蚀剂组合物，由此提供具有优异的灵敏度、分辨率和线边缘粗糙度，并且能够绘制超微细图形的抗蚀剂组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102161622B | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201110030170.0 | 申请日期 | 2011.01.19 |
| 申请人 | 锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 韩俊熙;赵承德;吴贞薰;李承宰 |
| 分类号 | C07C69/96(2006.01)I;C07C68/06(2006.01)I;C07C69/736(2006.01)I;C07C67/08(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C69/96(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 张晓威 |
| 主权项 | 用于EUV的抗蚀剂组合物，其包含下式(2)的化合物以及光致产酸剂，其中所述抗蚀剂组合物不包含碱溶性树脂：[式2]<img file="FDA0000550992640000011.GIF" wi="1141" he="590" />其中R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>各自独立地表示氢原子；R<sub>5</sub>表示氢原子或具有1至30个碳原子的直链或支链烷基；R<sub>6</sub>和R<sub>7</sub>各自独立地表示氢原子；n<sub>1</sub>为1至30的整数；n<sub>2</sub>为选自2、3、4和6的整数；R<sub>1</sub>和R<sub>4</sub>各自独立地为选自下式(3a)和式(3b)中的任意一种酸解离性官能团：[式3a]<img file="FDA0000550992640000012.GIF" wi="493" he="281" />[式3b]<img file="FDA0000550992640000013.GIF" wi="450" he="299" />其中在式(3a)和式(3b)中，n<sub>3</sub>和n<sub>4</sub>各自独立地为0至10的整数；R<sub>32</sub>、R<sub>33</sub>、R<sub>35</sub>和R<sub>36</sub>各自独立地为氢原子；并且R<sub>31</sub>和R<sub>34</sub>各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基；并且X<sub>1</sub>是选自下式(16)‑(21)中的任意一种化合物：[式16]‑(CH<sub>2</sub>)<sub>3</sub>‑[式17]‑CH<sub>2</sub>‑(CO)‑CH<sub>2</sub>‑[式18]<img file="FDA0000550992640000021.GIF" wi="445" he="233" />[式19]<img file="FDA0000550992640000022.GIF" wi="942" he="255" />[式20]<img file="FDA0000550992640000023.GIF" wi="602" he="190" />[式21]<img file="FDA0000550992640000024.GIF" wi="369" he="317" /> | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||