| 发明名称 |
Substrat-Entfernung von einem Träger |
| 摘要 |
<p>Verfahren und Vorrichtungen werden bereitgestellt, in denen ein Trennmittel auf mindestens einen Abschnitt eines Substrats aufgebracht wird. Der mindestens eine Abschnitt des Substrats wird von einem Träger entfernt.</p> |
| 申请公布号 |
DE102014106798(A1) |
申请公布日期 |
2014.11.20 |
| 申请号 |
DE201410106798 |
申请日期 |
2014.05.14 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KOLLER, ADOLF;MARIANI, FRANCO;UMMINGER, KATHARINA |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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