光学素子

摘要

良好な耐レーザー性及び良好な反射防止性のどちらも可能にするために、基板（２０）及びその基板上の少なくとも４つの層を有するコーティングを含む、特にＵＶリソグラフィ用の光学素子（２）を提案する。この光学素子において、低い屈折率の無機フッ素化合物を含む第１層（２１）が基板（２０）上に配置され、無機酸化物含有化合物を含む層（２３）が基板（２０）から基も離れた層として配置され、各々が無機フッ素化合物又は無機酸化物含有化合物を含む少なくとも２つの更なる層（２２２，２２３）が、第一層と最も離れた層（２１，２３）との間に交互に配置される。【選択図】図２