| 摘要 |
<p>Es wird ein Mikrostrukturbauelement, insbesondere zum Erfassen von Beschleunigungen und/oder Drehraten, mit einem eine Substrathaupterstreckungsebene aufweisenden Substrat, einer Elektrode und einer weiteren Elektrode vorgeschlagen, wobei die Elektrode eine Elektrodenhaupterstreckungsebene und die weitere Elektrode eine weitere Elektrodenhaupterstreckungsebene aufweist, wobei die Elektrodenhaupterstreckungsebene parallel zu einer zur Substrathaupterstreckungsebene senkrechten Normalrichtung angeordnet ist, wobei die weitere Elektrodenhaupterstreckungsebene parallel zur Normalrichtung angeordnet ist, wobei die Elektrode eine sich in die Normalrichtung erstreckende Elektrodenhöhe aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode einen sich parallel zur Substrathaupterstreckungsebene vollständig durch die Elektrode hindurch erstreckenden Strömungskanal aufweist, wobei der Strömungskanal eine sich parallel zur Normalrichtung erstreckende Kanaltiefe aufweist, wobei die Kanaltiefe kleiner ist als die Elektrodenhöhe.</p> |
