カソードルミネッセンスを収集する光学系を備える一体式の後方散乱電子検出器

摘要

試料からの後方散乱電子と光子とを同時検出するための装置。その装置は、直接検出の後方散乱電子検出器と、光子検出器とを備える。後方散乱電子検出器は、試料から放出された光子を光子検出器へと反射する反射面を備える。