Sensor und Verfahren zum Herstellen eines Sensors

摘要

Sensor (100; 200), mit folgenden Merkmalen: einem Substrat (110); einer Membran (120; 220); einem ersten und einem zweiten Abstandshalter (130-1, 130-2), die auf dem Substrat (110) angeordnet sind; einer ersten Haltestruktur (140-1), die seitlich neben der Membran (120; 220) von dem ersten Abstandshalter (130-1) gehalten wird und eine erste Elektrode (150-1) auf einer dem Substrat (110) zugewandten ersten Hauptseite (122) der Membran (120; 220) kontaktiert; und einer zweiten Haltestruktur (140-2), die seitlich neben der Membran (120; 220) von dem zweiten Abstandshalter (130-2) gehalten wird und eine zweite Elektrode (150-2) auf einer der ersten Hauptseite (122) gegenüberliegenden zweiten Hauptseite (124) der Membran (120; 220) kontaktiert, so dass die Membran (120; 220) über den ersten und zweiten Abstandshalter (130-1, 130-2) aufgehängt und mit Kontaktflächen (112-1, 112-2) des Substrats (110) elektrisch verbunden ist; wobei die Membran (120; 220) einen pn-Übergang (222) aufweist, der sich parallel zu einer Oberfläche des Substrats (110) erstreckt, so dass der pn-Übergang (222) seriell zwischen die Kontaktflächen (112-1, 112-2) des Substrats (110) geschaltet ist.