| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Modul, insbesondere Facettenspiegel, mit einem optischen Element, insbesondere einem Facettenelement, und einer Stützstruktur (108) zur Abstützung des optischen Elements (109), wobei die Stützstruktur (108) einen Stützabschnitt (108.1) und einen Verbindungsabschnitt (108.2) zur Abstützung des optischen Elements (109) aufweist, der Stützabschnitt (108.1), der Verbindungsabschnitt (108.2) und das optische Element (109) kinematisch seriell angeordnet sind und der Verbindungsabschnitt (108.2) den Stützabschnitt (108.1) und das optische Element (109) in einer Verbindungsrichtung (V) verbindet, wobei der Stützabschnitt (108.1) insbesondere eine parallel zur Verbindungsrichtung (V) verlaufende Längsachse (LV) definiert. Der Verbindungsabschnitt (108.2) umfasst wenigstens ein Verbindungselement (108.3), das nach Art eines Biegefederelements ausgebildet ist, wobei sich das Biegefederelement (108.3) eine Längsachse (Lα) erstreckt, die zumindest abschnittsweise geneigt zu der Verbindungsrichtung (V) verläuft. |
