| 摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von granularem Polysilicium, umfassend einen Behälter mit einem Innen-Reaktorrohr für eine Wirbelschicht mit granularem Polysilicium und einen Reaktorboden, eine Heizvorrichtung zum Heizen der Wirbelschicht im Innen-Reaktorrohr, wenigstens eine Öffnung im Reaktorboden zur Zuführung von Fluidisierungsgas sowie wenigstens eine Öffnung im Reaktorboden zur Zuführung von Reaktionsgas, eine Vorrichtung zum Abführen von Reaktorabgas, eine Zuführeinrichtung, um Siliciumpartikel zuzuführen sowie eine Entnahmeleitung für granulares Polysilicium, wobei wenigstens einer der Öffnungen im Reaktorboden außerhalb des Innenreaktorrohrs eine Lavaldüse vorgelagert ist, geeignet, um wenigstens einen zugeführten Massenstrom überkritisch zu expandieren. |
