| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Bragg-Reflektor (12) für ein optisches Element einer optischen Anordnung, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Vielzahl von alternierend angeordneten Schichten (13, 14) mit unterschiedlichem Brechungsindex zur Reflexion von Licht, wobei die Schichten abwechselnd aus einer halbleitenden, binären Verbindung, insbesondere MoP, Ru2Si3 oder YN und Silizium gebildet sind. Außerdem betrifft die Erfindung ein kombiniertes Spiegel- und Filterelement für eine optische Anordnung, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage, mit einem Substrat (10) und einem auf dem Substrat angeordneten Bragg-Reflektor (12), wie oben beschrieben. |
