| 摘要 |
Die Erfindung schlägt einen Beschleunigungssensor mit einem Substrat und einer seismischen Masse vor, wobei der Beschleunigungssensor eine Haupterstreckungsebene aufweist und eine Federeinrichtung umfasst, über die das Substrat und die seismische Masse derart verbunden sind, dass die seismische Masse bei einer Beschleunigung in eine senkrecht zur Haupterstreckungsebene verlaufende Detektionsrichtung um eine parallel zur Haupterstreckungsebene verlaufende Drehachse im Sinne einer Kippbewegung auslenkbar ist, wobei die seismische Masse darüber hinaus über mindestens eine erste Feder mit dem Substrat verbunden ist, wobei die Steifigkeit der ersten Feder bei einer Auslenkung der seismische Masse im Sinne der Kippbewegung in Detektionsrichtung kleiner ist als die Steifigkeit der ersten Feder bei einer Auslenkung in einer parallel zur Haupterstreckungsebene verlaufenden Primärrichtung. |
