Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element

摘要

Die zugrunde liegende Erfindung legt eine Vorrichtung dar, die ein schwingfähig aufgehängtes optisches Element über gekrümmte Federelemente mit zumindest zwei einseitig festgelagerten Aktuatoren verbindet, wobei die Aktuatoren ausgebildet sind, um das schwingfähig aufgehängte optische Element über die gekrümmten Federelemente in Schwingung zu versetzen. Durch die gekrümmte Ausformung der Federelemente können sowohl die Aktuatoren als auch das Gesamtsystem robuster ausgeführt werden und zuverlässiger betrieben werden.