| 摘要 |
1. Микроструктурный элемент для селекции электромагнитного излучения, выполненный в виде перфорированной сеточной структуры с высокоэлектропроводящей внешней поверхностью, отличающийся тем, что основной объем структуры выполнен из полимерной пленки (или полимерного листа) и вся ее поверхность, включая внутренние полости, металлизирована (выполнена из металла с высокой электропроводностью).2. Микроструктурный элемент для селекции электромагнитного излучения по п.1, отличающийся тем, что его рабочая поверхность выполнена пространственно-профилированной.3. Способ изготовления микроструктурного элемента для селекции электромагнитного излучения, выполненного в виде перфорированной сеточной структуры, включающий в себя процессы рентгеновского экспонирования углеводородных полимеров через рентгеношаблон и формирования высокоэлектропроводящих слоев, отличающийся тем, что сеточную структуру изготавливают из пленки (или листа) рентгеночувствительного углеводородного полимера путем проявления сформированного в нем при помощи рентгеновской литографии скрытого изображения, а затем всю поверхность полученной структуры металлизируют.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что поверхность перфорированной сеточной структуры металлизируют химическим способом.5. Способ по пп.3 и 4, отличающийся тем, что металлическую поверхность перфорированной сеточной структуры в случае необходимости ее защиты от коррозии покрывают путем напыления тонкой пленкой из более коррозионно-стойкого материала (предпочтительнее из металла или сплава с высокой электропроводностью). |
