| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Bauelements. Das Verfahren umfasst ein Bereitstellen eines ersten Substrats (110), aufweisend eine Funktionsstruktur (111, 112), ein Bereitstellen eines zweiten Substrats (120), und ein Verbinden des ersten und zweiten Substrats, so dass ein Hohlraum (131, 132) im Bereich der Funktionsstruktur (111, 112) gebildet wird. Das Verfahren umfasst ferner ein Ausbilden eines Zugangs (140) zu dem Hohlraum (132), und ein Verschließen des Zugangs (140). Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Bauelement mit einer Funktionsstruktur (111, 112) und einem Hohlraum (131, 132) im Bereich der Funktionsstruktur (111, 112). |
