| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft Vorrichtungen und Verfahren zur spektrometrischen Analyse von licht-emittierenden Proben. Die Vorrichtung umfasst eine Teilchenstrahlquelle, die einen auf die Probe gerichteten Primärteilchenstrahl erzeugt, derart, dass der Primärteilchenstrahl auf der Probe auftrifft und aufgrund der Wechselwirkung zwischen Primärteilchenstrahl und Probenmaterial Photonen aus der Probe frei gesetzt werden. Außerdem umfasst die Vorrichtung eine Vielzahl von Lichtaufnahmeelementen, die geeignet sind, die aus der Probe frei gesetzten Photonen aufzufangen, wobei die Lichtaufnahmeelemente die im jeweils zugeordneten Raumwinkelbereich emittierten Photonen auffangen. Die Vorrichtung umfasst weiterhin Leitungselemente, die ausgebildet sind, aufgefangene Photonen zu einer Auswerteeinheit weiterzuleiten, sowie ein Analysesystem, das eine Mehrzahl von Auswerteeinheiten umfasst, derart, dass von jedem Lichtaufnahmeelement aufgefangene Photonen spektral analysiert werden. |
