发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln eines Qualitätsparameters einer flächigen Probe
摘要 Vorrichtung zum Ermitteln eines Qualitätsparameters eines dünnen multikristallinen Wafermaterials (3) für die Herstellung von Solarzellen mit: einer ersten Einrichtung (21, 22) zum Messen des Widerstands (R) an mindestens einer ersten Stelle (P1), einer zweiten Einrichtung (23, 24) zum Messen des Widerstands (R) an der ersten Stelle (P1), und einer Vergleichseinrichtung zum Vergleichen des Widerstandswerts (R), der mit der ersten Widerstandsmesseinrichtung gemessen wird, und dem Widerstandswert (R), der mit der zweiten Widerstandsmesseinrichtung gemessen wird, wobei die erste Messeinrichtung mindestens einen ersten Sensor (21, 22) mit einer ersten Sensorfläche und die zweite Messeinrichtung mindestens einen zweiten Sensor (23, 24) mit einer zweiten Sensorfläche aufweist, wobei die erste und die zweite Sensorfläche unterschiedlich groß sind.
申请公布号 DE102011004991(B4) 申请公布日期 2014.11.20
申请号 DE20111004991 申请日期 2011.03.02
申请人 WURDACK, STEFAN;TOPP, KLAUS 发明人 WURDACK, STEFAN
分类号 H01L21/66;G01N27/04;G01R27/00;G01R31/265;H01L31/18 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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