摘要 |
Vorrichtung zum Ermitteln eines Qualitätsparameters eines dünnen multikristallinen Wafermaterials (3) für die Herstellung von Solarzellen mit: einer ersten Einrichtung (21, 22) zum Messen des Widerstands (R) an mindestens einer ersten Stelle (P1), einer zweiten Einrichtung (23, 24) zum Messen des Widerstands (R) an der ersten Stelle (P1), und einer Vergleichseinrichtung zum Vergleichen des Widerstandswerts (R), der mit der ersten Widerstandsmesseinrichtung gemessen wird, und dem Widerstandswert (R), der mit der zweiten Widerstandsmesseinrichtung gemessen wird, wobei die erste Messeinrichtung mindestens einen ersten Sensor (21, 22) mit einer ersten Sensorfläche und die zweite Messeinrichtung mindestens einen zweiten Sensor (23, 24) mit einer zweiten Sensorfläche aufweist, wobei die erste und die zweite Sensorfläche unterschiedlich groß sind. |