发明名称 マッハ・ツェンダ干渉計、アレイ導波路回折格子及びマッハ・ツェンダ干渉計の製造方法
摘要
申请公布号 JP5625449(B2) 申请公布日期 2014.11.19
申请号 JP20100082654 申请日期 2010.03.31
申请人 发明人
分类号 G02B6/122;G02B6/12 主分类号 G02B6/122
代理机构 代理人
主权项
地址