| 发明名称 | 大面积光学质量合成多晶金刚石窗户 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm<sup>-1</sup>；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10<sup>-4</sup>，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。 | ||
| 申请公布号 | CN104160061A | 申请公布日期 | 2014.11.19 |
| 申请号 | CN201280068522.4 | 申请日期 | 2012.12.13 |
| 申请人 | 六号元素技术有限公司 | 发明人 | P·N·英格利斯;J·R·布莱顿;J·M·多德森;T·P·莫拉特 |
| 分类号 | C23C16/01(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/01(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 曾祥生 |
| 主权项 | 一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm<sup>‑1</sup>；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10<sup>‑4</sup>，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。 | ||
| 地址 | 英国伦敦 | ||