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发明名称 Hole cleaning apparatus of vacuum chamber for organic light emitting diode manufacture
摘要
申请公布号 KR200475173(Y1) 申请公布日期 2014.11.19
申请号 KR20140006841U 申请日期 2014.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L51/56 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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