位置检测装置、位置检测方法以及基板的制造方法

摘要

本发明提供一种在输送部中例如不利用止动器而使基板停止的情况下，能够适当地检测基板的停止位置的技术。本技术所涉及的位置检测装置具有拍摄部、输送部以及控制部。所述输送部沿输送方向输送基板，使正输送的所述基板停止。所述控制部利用所述拍摄部对停止的所述基板的输送方向上的边缘进行拍摄，基于拍摄到的图像内的所述基板的边缘位置，对所述基板的停止位置进行检测。

主权项

一种位置检测装置，其具有：拍摄部；输送部，其将基板沿输送方向输送，使正输送的所述基板停止；以及控制部，其利用所述拍摄部对停止的所述基板的输送方向上的边缘进行拍摄，基于拍摄到的图像内的所述基板的边缘位置，对所述基板的停止位置进行检测。