制备多晶硅的系统

摘要

本发明公开了一种制备多晶硅的系统，该系统包括：多个还原炉，多个还原炉通过管道串联连接，并将上游还原炉产生的还原尾气供给至下游还原炉中；三氯氢硅入口，三氯氢硅入口设置在管道上；氢气入口，氢气入口设置在管道上；三氯氢硅储罐，三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和三氯氢硅入口相连，用于将三氯氢硅供给至还原炉中；以及氢气储罐，氢气储罐分别与第一个还原炉和氢气入口相连，用于将氢气供给至还原炉中。该系统可以实现物料的循环使用，并且显著降低还原尾气的处理成本。

主权项

一种制备多晶硅的系统，其特征在于，包括：多个还原炉，所述多个还原炉通过管道串联连接，并将上游所述还原炉产生的还原尾气供给至下游所述还原炉中；三氯氢硅入口，所述三氯氢硅入口设置在所述管道上；氢气入口，所述氢气入口设置在所述管道上；三氯氢硅储罐，所述三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和所述三氯氢硅入口相连，用于将三氯氢硅供给至所述还原炉中；以及氢气储罐，所述氢气储罐分别与所述第一个还原炉和所述氢气入口相连，用于将氢气供给至所述还原炉中。