基于MEMS技术的原子气体腔器件

摘要

本实用新型涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形，由（100）型的单晶硅片通过硅各向异性湿法腐蚀形成，通孔的侧壁为硅片的{111}晶面。两层玻璃片与带通孔的硅片通过硅-玻璃阳极键合后形成原子气体腔。本实用新型所述的原子气体腔器件可用于原子钟和磁强计等系统中，通过改变原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应信号的信噪比增强，有利于提高系统的稳定度。

主权项

基于MEMS技术的原子气体腔器件，所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，包括中间层为中部具有通孔的硅片，硅片的一侧面设有顶层玻璃，另一侧面设有底层玻璃，其特征在于：所述通孔的横截面为平行四边形，平行四边形的通孔的两侧壁为平行的斜面；所述通孔两侧斜面的侧壁上分别设有反射镜。