厚度测定装置

摘要

即便在片状被测定物的表面附着有液体的状态下也高精度地测定厚度。包括：夹住片状被测定物(P)的两面的测定头(12)；以及在被测定物的宽度方向上移动测定头(12)的测定头移动单元(14)，测定头(12)具有：以抵接在被测定物的一面侧的状态进行配置的第1测定头部(120)；以及夹着被测定物与测定头部(120)相对、以抵接在被测定物的另一面侧的状态进行配置的第2测定头部(121)，各测定头部(120、121)以规定的按压状态夹持被测定物，一边维持该状态，一边沿着被测定物的宽度方向往返移动。测定头部(12)具有测定第1、第2测定头部(120、121)间距离的涡电流传感器(121b)。

主权项

一种厚度测定装置，该厚度测定装置在片状被测定物的正反面附着有液体异物的状态下，测定该被测定物的厚度，其特征在于，包括：配置于所述被测定物两侧的测定头；以及在所述被测定物的宽度方向上移动所述测定头的测定头移动单元，所述测定头包括夹着所述被测定物而相对配置的一对第1和第2测定头部，并具有：按压单元，该按压单元对所述第1、第2测定头部进行按压，以使得所述第1、第2测定头部与所述被测定物的正反面相抵接；以及传感器，该传感器在将所述第1、第2测定头部按压至所述被测定物的状态下，测定该头部间的距离，所述测定头移动单元一边维持所述第1及第2测定头部按压并夹持所述被测物的状态，一边沿着所述被测定物的正反面往返移动。