一种用于SiC外延的感应加热装置

摘要

本发明涉及半导体设备感应加热装置，具体涉及一种用于SiC外延设备的感应加热装置，包括石墨盘和石墨盘下方的感应线圈，所述感应线圈为等螺距的平面螺旋型线圈，且感应线圈与石墨盘平行，所述感应线圈底端安装多组用于调节感应线圈与石墨盘之间距离的距离调节机构，每组距离调节机构包括多根沿感应线圈径向安装在每圈螺旋线底端的调节杆、设在调节杆底端的调节杆安装板。本发明所述用于SiC外延的感应加热装置可以实现SiC外延工艺所需的高温，并且通过旋转调节杆调节感应线圈与石墨盘之间的距离来保证温度场的均匀性。

主权项

一种用于SiC外延的感应加热装置，包括石墨盘（6）和石墨盘（6）下方的感应线圈（1），其特征是，所述感应线圈（1）为等螺距的平面螺旋型线圈，且感应线圈（1）与石墨盘（6）平行，所述感应线圈（1）底端安装多组用于调节感应线圈（1）与石墨盘（6）之间距离的距离调节机构，每组距离调节机构包括多根沿感应线圈（1）径向安装在每圈螺旋线底端的调节杆（4）、设在调节杆（4）底端的调节杆安装板（5），所述调节杆（4）的两端设有旋向不同的螺纹，所述感应线圈（1）底面设有与调节杆（4）对应的螺套（2），而调节杆安装板（5）的顶面设有与调节杆（4）对应的带内螺纹的安装孔，所述调节杆（4）的顶端旋入对应螺套（2）中，而调节杆（4）的底端旋入调节杆安装板（5）的对应安装孔内。