机械手装置

摘要

本实用新型公开了一种机械手装置，包括机械手以及驱动装置，其中，机械手包括底座、机械臂、机械腕以及装载手；底座用于支撑呈线性依次铰接的机械臂以及机械腕，机械腕的端部设有装载手用于取放硅片；驱动装置安装于底座内部，用于驱动机械手做水平旋转/伸缩运动；此外，装载手至少为2只且在水平方向上分别具有预设角度，各装载手固定连接一转动轴并绕其竖直轴心线做水平旋转运动；还设有装载手驱动站，设于转动轴的上方或下方，用于驱动装载手旋转至预设位置；位置锁定装置，安装于装载手上，用于锁定装载手的位置角度。本实用新型提供的一种机械手装置可有效隔绝搬运过程中的交叉沾污，降低成本、简化结构、节约机械手装置的占地空间。

主权项

一种机械手装置，包括机械手以及驱动装置，其中，所述机械手包括底座、机械臂、机械腕以及装载手；所述底座用于支撑呈线性依次铰接的机械臂以及机械腕，所述机械腕的端部设有装载手用于取放硅片；所述驱动装置安装于所述底座内部，用于驱动所述机械手做水平旋转/伸缩运动；其特征在于：还包括：所述装载手至少为2只且在水平方向上分别具有预设角度，各装载手固定连接一转动轴并绕其竖直轴心线做水平旋转运动；装载手驱动站，设于所述转动轴的上方或下方，用于驱动所述装载手旋转至预设位置；其中，所述装载手驱动站具有升降轴，可做上下运动，装载手需交换位置时，所述升降轴向所述转动轴的方向运动并驱动所述转动轴旋转，从而带动所述装载手旋转至预设位置；位置锁定装置，安装于所述装载手上，用于锁定所述装载手的位置角度。